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集成傳感器
集成傳感器是新型傳感器重要的發展方向之一。微加工技術可將敏感元件、測量電路、放大器及溫度補償元件等集成在一個芯片上，這樣不僅具有體積小、重量輕、可靠性高、響應速度快、穩定等特點，而且便于批量生產，成本較低。在各種半導體材料中，以硅為基底材料的集成傳感器發展最快。硅集成傳感器是硅物理效應與平面技術相結合的產品，例如，集成溫度傳感器、霍爾集成電路及擴散硅壓力傳感器等。采用集成傳感器可簡化電路設計，減小產品體積，便于安裝調試，提高可靠性并降低成本，因此，很多傳感器都向集成方向發展。集成傳感器己廣泛應用于汽車、家用電器、醫療衛生及航空航天技術中。
